イオンビームで試料をスパッタする装置で、主にSEM用試料の内部構造露出や表面を平滑にするための試料加工装置です。機械研磨など、他の断面試料作製法と比べて応力をかけずに試料を加工することができるので、多岐にわたる試料の前処理が可能です。冷却機能付きで試料への熱ダメージを軽減できます。