イオンミリング装置(IM4000)
試料を準備
イオンビームで試料をスパッタする装置で、主にSEM用試料の内部構造露出や表面を平滑にするための試料加工装置です。機械研磨など、他の断面試料作製法と比べて応力をかけずに試料を加工することができるので、多岐にわたる試料の前処理が可能です。冷却機能付きで試料への熱ダメージを軽減できます。
機器名 | イオンミリング装置(IM4000) |
商品名 | イオンミリング装置 IM4000 |
型式 | IM4000 |
メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
仕様 | <断面ミリング> ・硬度やミリングレートが異なる組成で構成される複合材料でも平滑な断面試料を作製可能 ・加工条件の最適化でダメージを軽減 ・最大W20×D12×H7mmの試料を搭載可能 <フラットミリング> ・直径約5mmの範囲を均一に加工 ・目的にあわせた幅広い用途に利用可能 ・最大直径50mm×厚さ25mmの試料を搭載可能 ・ローテーション加工とスイング(±60度~±90度の反転)加工の2種類が選択可能 |
配置場所 | I-105 |
装置番号 | I-105-3 |
機器の状況 | 良好 |
使用料金 | ・自主 ¥2,000/時間 ・依頼 ¥2,000/時間(別途サンプル前処理¥3,500/時間) ※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。 |