ロードロック式室付スパッタ装置(QAM-4C-SL)

高真空中のプロセスチャンバーに設置された3種類のターゲットとエッチングターゲットで試料上に成膜をして行く装置です。ロードロック室を有しているのでプロセスチャンバーは常に高真空に維持され高品質の成膜が可能です。

機器名 ロードロック式室付スパッタ装置(QAM-4C-SL)
商品名 研究用ロードロック室付スパッタ装置
型式 QAM-4C-SL
メーカー ULVAC
仕様 ・ロードロック室付き
・電源 DC電源(最大150W) RF電源(最大200W)
・ターゲット 3種類装着可(他にエッチング用1個)
・基板ホルダー φ100mm
・基板ホルダー 回転機構 有
配置場所 I-201
装置番号 I-201-02
機器の状況 良好
使用料金 ・自主 ¥25,000円/時間 or 日
・依頼 ¥35,000円/時間 or 日
※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。