ロードロック式室付スパッタ装置(QAM-4C-SL)
材料を接合する
高真空中のプロセスチャンバーに設置された3種類のターゲットとエッチングターゲットで試料上に成膜をする装置です。ロードロック室を有しているのでプロセスチャンバーは常に高真空に維持され高品質の成膜が可能です。
機器名 | ロードロック式室付スパッタ装置(QAM-4C-SL) |
商品名 | 研究用ロードロック室付スパッタ装置 |
型式 | QAM-4C-SL |
メーカー | 株式会社アルバック |
仕様 | ・ロードロック室付き ・電源:DC電源(最大150W) RF電源(最大200W) ・ターゲット:3種類装着可(他にエッチング用1個) ・基板ホルダー:φ100mm ・基板ホルダー 回転機構:有 |
配置場所 | I-201 |
装置番号 | I-201-02 |
機器の状況 | 良好 |
使用料金 | ・自主 ¥25,000/時間 ・依頼 ¥35,000/時間 ※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。 |