分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)
非接触にて3次元測定が可能
透明体の3D形状にも対応
機器名 | 分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U) |
商品名 | 分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U) |
型式 | KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U |
メーカー | KEYENCE |
仕様 | ■X/Yステージ ・移動量 100㎜(X/Y) ・ステージ面サイズ 180×180㎜ ・最大駆動速度 150㎜/s ・最小移動分解能 0.1㎛ ・繰り返し位置決め精度 ±0.5㎛ ■θステージ移動範囲 360° ■Zステージ ・可動範囲 100㎜ ・耐荷重 1.5kgf(14.7N) ・スケール分解能 1㎛ <マイクロヘッドタイプ分光ユニット> ■センサヘッド SI-F01 ■分光ユニット SI-F01U ■測定範囲 0.05 ~ 1.10㎜ ■測定用光源 赤外SLD 中心波長820㎚最大0.6mW クラス1 ■スポット径 φ20㎛(測定範囲内最小スポット径) ■直線性 ±0.2㎛ 測定対象ガラス表面 平均回数256回 ■分解能 0.001㎛ 測定対象ガラス表面 平均回数4096回 測定範囲中心にて |
配置場所 | I-102 |
装置番号 | I-102-09 |
機器の状況 | 使用可 |
使用料金 | ・自主 ¥3,000円/時間 or 日 ・依頼 ¥10,000円/時間 or 日 ※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。 |