分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)

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試料を壊さずに内部観察したい

非接触にて3次元測定が可能
透明体の3D形状にも対応

機器名	分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)
商品名	分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)
型式	KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U
メーカー	KEYENCE
仕様	■X/Yステージ ・移動量　100㎜(X/Y) ・ステージ面サイズ　180×180㎜ ・最大駆動速度　150㎜/s ・最小移動分解能　0.1㎛ ・繰り返し位置決め精度　±0.5㎛ ■θステージ移動範囲　360° ■Zステージ ・可動範囲 100㎜ ・耐荷重　1.5kgf(14.7N) ・スケール分解能　1㎛ ＜マイクロヘッドタイプ分光ユニット＞ ■センサヘッド　SI-F01 ■分光ユニット　SI-F01U ■測定範囲　0.05 ～ 1.10㎜ ■測定用光源　赤外SLD　中心波長820㎚最大0.6mW ｸﾗｽ1 ■スポット径　φ20㎛(測定範囲内最小スポット径) ■直線性　±0.2㎛　測定対象ガラス表面　平均回数256回 ■分解能　0.001㎛　測定対象ガラス表面　平均回数4096回　測定範囲中心にて
配置場所	I-102
装置番号	I-102-09
機器の状況	使用可
使用料金	・自主 ¥3,000円/時間 or 日 ・依頼 ¥10,000円/時間 or 日 ※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。