分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)

非接触にて3次元測定が可能
透明体の3D形状にも対応

機器名 分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)
商品名 分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U)
型式 KS-1100, KS-H1A, SI-F01, SI-F01U
メーカー KEYENCE
仕様 ■X/Yステージ
・移動量 100㎜(X/Y)
・ステージ面サイズ 180×180㎜
・最大駆動速度 150㎜/s
・最小移動分解能 0.1㎛
・繰り返し位置決め精度 ±0.5㎛
■θステージ移動範囲 360°
■Zステージ
・可動範囲 100㎜
・耐荷重 1.5kgf(14.7N)
・スケール分解能 1㎛

<マイクロヘッドタイプ分光ユニット>
■センサヘッド SI-F01
■分光ユニット SI-F01U
■測定範囲 0.05 ~ 1.10㎜
■測定用光源 赤外SLD 中心波長820㎚最大0.6mW クラス1
■スポット径 φ20㎛(測定範囲内最小スポット径)
■直線性 ±0.2㎛ 測定対象ガラス表面 平均回数256回
■分解能 0.001㎛ 測定対象ガラス表面 平均回数4096回 測定範囲中心にて
配置場所 I-102
装置番号 I-102-09
機器の状況 使用可
使用料金 ・自主 ¥3,000円/時間 or 日
・依頼 ¥10,000円/時間 or 日
※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。