分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(SI-F01, SI-F01U, KS-1100, KS-H1A)

装置予約はこちらから

観察

試料を壊さずに内部観察したい

非接触にて3次元測定が可能です。透明体の3D形状にも対応しています。

機器名	分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム(SI-F01,SI-F01U,KS-1100,KS-H1A)
商品名	分光干渉レーザ変位計・高精度形状測定システム
型式	SI-F01, SI-F01U・KS-1100, KS-H1A
メーカー	KEYENCE
仕様	■X/Yステージ ・移動量：100mm(X/Y) ・ステージ面サイズ：180×180mm ・最大駆動速度：150mm/s ・最小移動分解能：0.1㎛ ・繰り返し位置決め精度：±0.5㎛ ■θステージ移動範囲：360° ■Zステージ ・可動範囲：100mm ・耐荷重：1.5kgf(14.7N) ・スケール分解能：1㎛ ＜マイクロヘッドタイプ分光ユニット＞ ・センサヘッド：SI-F01 ・分光ユニット：SI-F01U ・測定範囲：0.05 ～ 1.10mm ・測定用光源：赤外SLD　中心波長820㎚最大0.6mW ｸﾗｽ1 ・スポット径：φ20㎛(測定範囲内最小スポット径) ・直線性：±0.2㎛　測定対象ガラス表面　平均回数256回 ・分解能：0.001㎛　測定対象ガラス表面　平均回数4096回　測定範囲中心にて
配置場所	I-201
装置番号	I-201-7
機器の状況	要相談
使用料金	少人数運営のため、ご利用いただけない場合がございます。 ご相談ください。