超深度カラー3D形状測定顕微鏡(VK-9500,9510)
非破壊・非接触で表面分析が可能な共焦点バイオレットレーザー顕微鏡です。超深度リアルカラー3D解析による表面形状解析が可能です。光学観察用カラーカメラ 1/3型カラーCCDイメージセンサを搭載しています。
| 機器名 | 超深度カラー3D形状測定顕微鏡 (VK-9500,9510) |
| 商品名 | 形状測定レーザマイクロスコープ 超深度カラー3D形状測定顕微鏡 |
| 型式 | VK-9500(コントローラ)/ VK-9510(測定部) |
| メーカー | KEYENCE |
| 仕様 | ■15型モニタ上倍率：200, 400, 1000, 3000 ■対物レンズ倍率：10×, 20×, 50×, 150× ■観測測定範囲(横(H)×縦(V)㎛)：1350×1012, 675×506, 270×202, 90×67 ■作動距離(mm)：16.5, 3.1, 0.35, 0.2 ■開口数(N.A.)：0.3, 0.46, 0.95, 0.95 ■観察・測定用光学系：ピンホールによる共焦点光学系 ■高さ測定 ・測定範囲：7mm ・表示分解能：0.01㎛ ・繰り返し精度δ：0.02㎛(対物レンズ50倍で標準段差2㎛を測定した場合) ■幅測定 ・表示分解能：0.01㎛ ・繰り返し精度3δ：0.02㎛(対物レンズ150倍でKEYENCE社基準チャート線幅1㎛部分をラインピーク(画像平均8回)にて測定した場合 ■水平解像度：0.13㎛(対物レンズ150倍(光学ズーム2倍)ファインモード有効時 ■表示分解能：1024×768 ■光学ズーム：1～6倍(0.1倍ステップ) ■測定用レーザ光源 ・波長：バイオレットレーザー408nm ・最大出力：0.9mW ・クラス：クラス2(JIS C6802) ■受光素子：PMT(光電子倍増管) ■最大試料サイズ ・試料最大高さ：28mm ・試料最大大きさ：直径318mm全面観察可能 ■Ｚステージ ・ストローク：28mm ・耐荷重：5㎏ ■X・Yステージ：ストローク70×70mm ■θステージ：360° |
| 配置場所 | I-105 |
| 装置番号 | I-105-1 |
| 機器の状況 | 要相談 |
| 使用料金 | 少人数運営のため、ご利用いただけない場合がございます。 ご相談ください。 |