FE-SEM (SU8020)
| 機器名 | FE-SEM(SU8020) |
| 商品名 | 走査電子顕微鏡 |
| 型式 | SU8020 |
| メーカー | 日立ハイテク |
| 仕様 | 二次電子分解能 1.0nm(加速電圧15kV、WD=4mm) 1.3nm(照射電圧1kV、WD=1.5mm) 照射電圧 0.1～30kV 倍率例 60x～2,000,000x （試料や測定条件に依存します） 可動範囲 X 0～50mm Y 0～50mm R 360° Z 1.5～30mm T 1.5～30mm 最大試料サイズ 100mm径（最大） |
| 配置場所 | S-113 |
| 装置番号 | S-113-1 |
| 機器の状況 | 良好 |
| 使用料金 | ・自主 ¥12,000/時間 ・依頼 ¥20,000/時間 ※大学・研究機関は上記料金の2/3になります。 |