スイッチパルスレーザー加工装置(LVE G1010 532,Nano)
試料を準備
レーザー発振器とガルバノ、Fθレンズが一体となった卓上型レーザー加工機です。
・薄膜スクライビング
・トリミング
・掘り込み、溝加工
・切断
・穴あけ
・剥離
・その他 微細加工
機器名 | スイッチパルスレーザー加工装置(LVE G1010 532,Nano) |
商品名 | 卓上型レーザー加工機 |
型式 | LVE G1010 532,Nano |
メーカー | Spectronix Corporation |
仕様 | ・波長:532nm ・平均出力:≧3.5W@10kHz ・繰返周波数:Max.50kHz ・パルス幅:<8ns ・空間モード:TEM00 ・ビーム品質:M2<1.3 ・ビーム径:φ0.9mm(typ.) ・拡がり角:<2.4mrad(typ.) ・偏光:直線偏光 ・冷却方式:完全空冷方式(ヘッド、コントローラ共) ・位置再現性:最大10μrad |
配置場所 | I-102 |
装置番号 | I-102-01 |
機器の状況 | 要相談 |
機器の説明 | レーザー発振器とガルバノ、Fθレンズが一体となった卓上型レーザー加工機。 ・薄膜スクライビング ・トリミング ・掘り込み、溝加工 ・切断 ・穴あけ ・剥離 ・その他 微細加工 |
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