超深度カラー3D形状測定顕微鏡 (VK-9500,9510)

非破壊・非接触で表面分析が可能な共焦点バイオレットレーザー顕微鏡
超深度リアルカラー3D解析による表面形状解析。
光学観察用カラーカメラ 1/3型カラーCCDイメージセンサを搭載

機器名 超深度カラー3D形状測定顕微鏡 (VK-9500,9510)
商品名 超深度カラー3D形状測定顕微鏡 VK-9500,9510
型式 VK-9500(コントローラ)/ VK-9510(測定部)
メーカー KEYENCE
仕様 ■15型モニタ上倍率 200, 400, 1000, 3000
■対物レンズ倍率  10×, 20×, 50×, 150× 
■観測測定範囲(横(H)×縦(V)㎛) 1350×1012, 675×506, 270×202, 90×67  
■作動距離(㎜) 16.5, 3.1, 0.35, 0.2 
■開口数(N.A.) 0.3, 0.46, 0.95, 0.95 
■観察・測定用光学系 ピンホールによる共焦点光学系 
■高さ測定
・測定範囲 7㎜
・表示分解能 0.01㎛
・繰り返し精度δ 0.02㎛(対物レンズ50倍で標準段差2㎛を測定した場合)
■幅測定
・表示分解能 0.01㎛
・繰り返し精度3δ 0.02㎛(対物レンズ150倍でKEYENCE社基準チャート線幅1㎛部分をラインピーク(画像平均8回)にて測定した場合
■水平解像度 0.13㎛(対物レンズ150倍(光学ズーム2倍)ファインモード有効時
■表示分解能 1024×768
■光学ズーム 1~6倍(0.1倍ステップ)
■測定用レーザ光源
・波長 バイオレットレーザー408nm
・最大出力 0.9mW
・クラス クラス2(JIS C6802)
■受光素子 PMT(光電子倍増管)
■最大試料サイズ
・試料最大高さ 28㎜
・試料最大大きさ 直径318㎜全面観察可能
■Zステージ
・ストローク 28㎜
・耐荷重 5㎏
■X・Yステージ ストローク70×70㎜
■θステージ 360°
配置場所 I-102
装置番号 I-102-07
機器の状況 使用可
※使用料金は、料金表をご覧ください。